Размер:
A A A
Цвет: C C C
Изображения Вкл. Выкл.
Обычная версия сайта

Лаборатория тонкопленочных технологий (ALD-технологий)


Контактное лицо :  зам. директора по научной работе, к.ф.-м.н., доцент Моисеев Николай Владимирович
Телефон/Факс :  (8342)29-07-58
E-mail :  moiseev-nv@mail.ru

Компетенции лаборатории : 
  • создание новых источников света на основе электролюминесцентных пленок ZnS:Mn;
  • исследования по использованию оксида алюминия, в качестве пассивирующего покрытия для pin-диодов;
  • разработка и создание биосовместимого покрытия для медицинских имплантов на основе оксида алюминия;
  • разработка устройства на основе фоторезисторных оптронов для оптической обработки электрических сигналов;
  • исследования по использованию оксида алюминия, в качестве диэлектрического покрытия для создания конденсаторов повышенной емкости.


  • Оборудование Фото Основные направления исследований
    Установка вакуумная для термического напыления материалов VSE-PVD-THERMO-LTE-4/2 Получение тонкопленочных покрытий методом термического испарения
    Система TFS 200 для получения тонких пленок методом ALD ( Beneq Oy, Финляндия) Получение наноразмерных пленок оксидов, сульфидов, нитридов, карбидов металлов на поверхности плоских объектов, пористых и дисперсных материалов.

    <--Назад к лабораториям