Размер:
A A A
Цвет: C C C
Изображения Вкл. Выкл.
Обычная версия сайта

Растровый электронный микроскоп Quanta TM 3D 200i с системами: микроанализа (EDS), EBSD, фокусированного ионного пучка (ФИП)

Растровый электронный микроскоп Quanta TM 3D 200i с системами: микроанализа (EDS), EBSD, фокусированного ионного пучка (ФИП)

Местонахождение оборудования и условие доступа к нему
Лаборатория электронной микроскопии и малоугловой рентгеновской дифрактометрии

Основные направления исследований, проводимых с использованием оборудования
Определение микро- и наноструктуры материалов, анализ элементного состава образцов (от Be до U), определение профиля распределения элементов; кристаллографический анализ структуры; 3d- модификация поверхности образцов с использованием ФИП

Технические характеристики
Источник электронов: электронная пушка с термоэмиссионным вольфрамовым катодом.
Пространственное разрешение:
  • 2,9 нм при 30 кВ (электронная оптика);
  • 10 нм при 30 кВ (ионная оптика).
  • Ускоряющее напряжение:
  • от 200 В до 30 кВ (электронная оптика);
  • от 5 кВ до 30 кВ (ионная оптика).
  • Вакуумные режимы:
  • высокий вакуум: <1,3·10-2 Pa (10 – 4 torr);
  • низкий вакуум: 10 - 130 Pa (0,1 – 1 torr);
  • ESEM™ («режим естественной среды»): 130 - 2600 Pa (1 – 20 torr).
  • Камера для образцов: ширина 379 мм; встроенная ИК-ПЗС видеокамера; скорость откачки камеры образцов до высокого вакуума после смены образца ~ 3,5 мин.
    5-и осевой моторизованный столик: ход по Х - 50 мм; ход по У - 50 мм; ход по Z - 25 мм; наклон от -10º  до +70º; поворот на 360º неограниченный; минимальный шаг 300 нм.

    <--Назад к оборудованию