Размер:
A A A
Цвет: C C C
Изображения Вкл. Выкл.
Обычная версия сайта

Система TFS 200 для получения тонких пленок методом ALD ( Beneq Oy, Финляндия)

Система TFS 200 для получения тонких пленок методом ALD ( Beneq Oy, Финляндия)

Местонахождение оборудования и условие доступа к нему
Лаборатория тонкопленочных технологий (ALD-технологий)

Основные направления исследований, проводимых с использованием оборудования
Получение наноразмерных пленок оксидов, сульфидов, нитридов, карбидов металлов на поверхности плоских объектов, пористых и дисперсных материалов.

Технические характеристики
Источник прекурсоров:
  • 4 источника жидких прекурсоров (+5°C к внешней);
  • источник горячих прекурсоров HS300 (от комнатной температуры до 300°C);
  • источники горячих прекурсоров HS 500 (от комнатной температуры до 500°C);
  • 2 газовые линии.
  • Система управления: PLC контроллер с пользовательским интерфейсом. Имеющиеся прекурсоры: триметиалюминий, диэтилцинк, трис(2,2,6,6-тетраметил-3,5-гептандионато)марганец (III), сероводород, вода.
    Температура подложки: от 25 до 500°C.
    Размеры реакторов:
  • реактор для плоских образцов: диаметр 200 мм, высота 3 мм;
  • 3D реактор: диаметр 200 мм, высота 95 мм.
  • Система вакуумирования: роторный двухступенчатый вакуумный насос Alcatel Adixen 2033C2 и блок фильтрации Alcatel Adixen DE1.
    Система подачи рабочих и процессных газов:
  • система газоснабжения процессными газами: закрытый автоматический газовый кабинет компании Sempa Systems Gmbh;
  • система подачи сжатого воздуха: компрессор F 114-24 «Fiac Air Compressors SpA», Италия;
  • система подачи азота высокой чистоты: подача осуществляется из баллонов с помощью настенной газовой панели модельного ряда М-3000 «Air Products and Chemicals Inc», США.
  • Система очистки отходящих газов: скруббер CLEANSORB «CS Clean Systems AG», Германия.
    Модуль подачи технического азота: пункт генерации азота PSA «Atlas Copco», Швеция.
    Система охлаждения рубашки реактора: блок для обеспечения циркуляции охлаждающей воды Huber 015-3-H.
    Система чистых помещений:
  • установка для воздухоподготовки Vento 80-50 «Remak», Чехия;
  • выносной компрессорно-конденсаторный блок LUQ-C48 «Lessar», Китай;
  • пароувлажнитель LR 30 «Vapac», Англия;
  • система контроля и автоматического регулирования внутриклиматических параметров «Schneider Electric», Германия.
  • Система детектирования утечек опасных газов: газовые детекторы Polytron 3000 «Dragerwerk AG & Co. KGaA», Германия.

    <--Назад к оборудованию